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WEH®和NFH®涂層是日揚研制的兩款真空納米涂層,專門針對解決半導體、光伏等行業(yè)之中,真空系統(tǒng)制程設(shè)備以及零部件中的腐蝕、堵塞難題。延長設(shè)備和零件的使用壽命和維護/更換周期,以提高產(chǎn)線稼動率, 達到大幅降低成本的目的。
—點擊圖片了解更多關(guān)于WEH®—
真空納米涂層的優(yōu)點
-WEH®和NFH®的特點-
• 納米級材料,可均勻且牢固附著基材表面。
• 強疏水性,接觸角高達106°,不易粘附粉塵。
• 耐腐蝕性,有優(yōu)秀的耐強酸、強堿性能。
• 耐高溫性,可在400℃環(huán)境下保持優(yōu)良性能。
• 性能穩(wěn)定,經(jīng)等離子束轟擊測試可保證低蝕刻率。不參與制程環(huán)境反應(yīng)。對水分、腐蝕性氣體的阻隔性能優(yōu)異,通過5B硬度測試,耐刮擦,這些穩(wěn)定性能使該涂層壽命更久。
WEH®和NFH®涂層的比較
1.WEH®涂層:相對來說成本更低,加工工序更加簡單,適合大面積涂裝,并已在zhiming半導體廠商MOCVD、ALD、AI-Pad等制程中應(yīng)用,主要涂裝在真空泵、管道、閥門等零件之中。
2.NFH®涂層:不含氟,對環(huán)境和人員友好,不會產(chǎn)生PFCS、PFAS等副產(chǎn)物,適用于歐美環(huán)保標準;可替代現(xiàn)流行的PFAS材料以及特氟龍涂層;抗腐蝕性能是WEH®的4~8倍,適用于更嚴苛的制程環(huán)境。
—上海日揚WEH®實驗室介紹—
涂層實用案例