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在基于石英晶體的測(cè)量系統(tǒng)中,監(jiān)測(cè)晶體的選擇直接決定了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性與穩(wěn)定性。尤其在嚴(yán)苛的工藝環(huán)境下,為您的應(yīng)用選擇適合的 INFICON 晶體至關(guān)重要。
以太陽能電池制造為例,大面積鍍膜常采用濺射工藝,并通過 QCM (石英晶體微量天平)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)膜厚以確保均勻性。但挑戰(zhàn)在于:濺射過程產(chǎn)生的大量熱量會(huì)直接影響測(cè)量精度。
此時(shí),銀電極晶體展現(xiàn)出關(guān)鍵優(yōu)勢(shì):其zhuoyue的導(dǎo)熱性能(得益于銀材料),能更快速地將靶材傳導(dǎo)來的熱量傳遞至傳感器水冷基座,從而有效控制晶體溫度。
帶來的直接效益是?
測(cè)量更可靠
太陽能電池質(zhì)量更高
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電極材料深度解析:對(duì)比金、銀、合金電極的核心優(yōu)勢(shì)與適用場(chǎng)景。
電極圖案選擇關(guān)鍵:了解不同電極圖案(如雙錨點(diǎn)、單錨點(diǎn)、雙面滿鍍)如何影響晶體穩(wěn)定性、壽命和抗干擾能力。
應(yīng)用場(chǎng)景精準(zhǔn)推薦:針對(duì)光學(xué)鍍膜(標(biāo)準(zhǔn)/精密/超?。?、金屬鍍膜(高熱負(fù)載/低應(yīng)力/高應(yīng)力)、OLED、原子層沉積 (ALD) 等不同工藝,提供zuiyou晶體選型建議。
高溫專用晶體方案:特別介紹適用于高溫ALD工藝的專用晶體及其穩(wěn)定工作溫度范圍。